无尘室洁净度等级标准

无尘室洁净度等级标准通常根据空气中悬浮粒子的浓度来划分，不同的行业和用途会有不同的洁净度要求。以下是一些常见的无尘室洁净度等级及其标准：

1. ISO 14644-1标准：

- ISO 1级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过10个。

- ISO 2级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过100个。

- ISO 3级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过1,000个。

- ISO 4级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过10,000个。

- ISO 5级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过100,000个。

- ISO 6级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过1,000,000个。

- ISO 7级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过10,000,000个。

- ISO 8级：每立方米空气中允许的0.1微米颗粒数不超过100,000,000个。

2. 根据美国联邦政府标准FS 209E, 1992：

- 1级：每立方英尺空气中大于或等于0.1微米的尘粒数不超过35颗，大于或等于0.3微米的尘粒数不超过3颗，大于或等于0.5微米的尘粒数不超过1颗。

- 10级：每立方英尺空气中大于或等于0.1微米的尘粒数不超过350颗，大于或等于0.3微米的尘粒数不超过30颗，大于或等于0.5微米的尘粒数不超过10颗。

3. 其他标准：

- A级：适用于对洁净度要求非常严格的场所，如微电子制造、精密仪器制造，要求车间内空气中的0.1微米颗粒数不超过每立方米35个。

- B级：适用于对洁净度要求较高的场所，如制药生产、食品加工，要求车间内空气中的0.1微米颗粒数不超过每立方米350个。

- C级：适用于对洁净度要求一般的场所，如一般电子制造、实验室，要求车间内空气中的0.1微米颗粒数不超过每立方米3500个。

- D级：适用于对洁净度要求较低的场所，如仓库、办公室，要求车间内空气中的0.1微米颗粒数不超过每立方米35000个。

无尘室的洁净度等级不仅包括空气中颗粒的数目、尺寸和浓度限制，还包括对室内环境的温度、湿度和气流控制的要求。这些标准有助于确保产品（如硅芯片等）在高度洁净的环境中生产，避免尘埃和其他污染物对产品造成损害

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